臺碩檢測設備（蘇州）有限公司
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用于測量輪廓形狀和表面粗糙度的復合測量機一機兩用，可 iB 以縮短設置工時和測量時間
®自主知識產權的國內首創技術：采用光柵傳感器同時滿足粗糙度與輪廓尺寸的測量
®利用干涉掃描光柵尺，分辨率可達lnm,可滿足超高精度的測量
®超高分辨率傳感器可同時滿足粗糙度與輪廓尺寸的測量，測量過程中無需更換傳感器
◎大量程與高精度同時兼容，可滿足弧面、柱面、自由曲面等不規則表面粗糙度與尺寸的一體式測量
©特有的粗糙度評價算法與位置補償方法，有效更正和補償被測面是非平面的測量誤差，
有效保證測量曲面、弧面工件粗糙度與平面粗糙度一樣高精度和高準確度
©無需數學方法修正、接近零摩擦系數的導軌，可長久保持高精度測量基準，精度始終如一
©自定義模板，批量測量，自動標注
?2) 產品技術規格 Product specifications
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型號 |
TS-RP100 TS-RP150 TS-RP200 TS-RP300 |
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X軸（橫導） |
100mm 150mm 200 mm 300mm |
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Z1軸（傳感） |
40mm 50 mm 60 mm 60 mm |
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Z軸（立柱） |
450mm 500mm 500 mm 500 mm |
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z小內孔 |
30mm （更小孔徑可定制） |
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輪廓 測量精度 |
線性精度： |
<±(l+|0.12H| ) pm |
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圓弧精度： 角度精度： |
W±（1.2+R/8）, （2mm< R< 10mm的標準球，取樣圓弧夾角為120°） <±1.5, （60°、90的角度塊，角邊取樣長度為5mm） |
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粗糙度部分 |
殘值噪聲 |
<0.005pm |
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重復性 |
15<2nm |
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示值誤差 |
±5% |
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穩定性 |
W±7% |
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傳感器 |
美國MicroE光柵傳感器，分辨率O.lum和0.05um |
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評定長度 |
入cX3、4、5、6、7 |
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截止波長 |
0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm |
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爬坡角度 |
上升77°,下降88° |
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測量速度 |
0.02m m ?4.0mm/s |
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測量方式 |
傳感器移動 |
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紫外線耐候試驗箱供應廠家
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